| 流量范围（N2转换20°C / 1ATM） | 50SCCM~5SLM | 5SLM超~20 SLM | |
|---|---|---|---|
| 可以气体（干燥气体） | N2，Air，O2，CO2，Ar，H2，He等 | ||
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
| 阀门方法（* 1） | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） | ||
| 控制测量范围 | 2.100％F.S. | ||
| 响应速度（* 2） |
0→10%F.S.以下 4秒以内 0→10%F.S.以上 2秒以内 |
||
| 精度（* 3） | ±1.0％F.S. | ±1.5％F.S. | |
| 温度系数 | 0.2％F.S./°C（15~35°C） | ||
| 重现性 | ±0.75%F.S. | ||
| 耐压 | 1000kPa（G） | ||
| 可工作压力 | 500kPa（G）以下 | ||
| 工作压差（* 1） | 50~300kPa（G） | 100~300kPa（G） | |
| 允许周围温度 | 5~45℃ | ||
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） | ||
| He泄漏率（* 4） | 1 x 10-8 Pa.m3/sec以下 | ||
| 流量设定方法 | 数字 | ①设定显示器 ②通信 ③活动输入切换 | |
| 模拟信号（* 7） | ①0.5V ②4~20 mA（任意切换） | ||
| 流量输出信号 | ①0.5V ②4~20 mA（上述与连动） | ||
| 显示器 | 显示方法 | 7段LED 4位数 |
|---|---|---|
| 累计流量（* 5） | 12位数 | |
| 安装方向 | 可以变更 | |
| 一体/分离 | 一体/分离1m /分离3m/分离5m | |
| 状态表示LED |
OK（允许范围内）/ ALM（警报输出相关联） OUT1（链接到活动输出1）/ OUT2（链接到活动输出2） SV（设定流量）/ PV（即时流量）/ TF（累计流量） IF（模式设定） |
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| 其他输入/输出功能 | 活动输入 | 3×触点输入 |
| 警报输出 | 1 ×开路集电极输出 MAX35 V：50 mA | |
| 活动输出 | 2 ×开路集电极输出 MAX35 V：50 mA | |
| 通讯 | RS485 半双工 9600bps | |
| 所需电源 |
24 VDC±10％（5％波动） 消耗电流300mA以下 |
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| 安装姿势 | 未 | |
| 气体接触材料 | SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，FKM，PTFE，氯丁橡胶（可选） | |
| 接头（* 6） | 1/4 F 900（9/16-18 UNF），Rc 1/4,1/4 UJR | |
| 重量（* 7） |
一体型：约1000g， 分离型（不包括分离电缆）：约1200克 |
|
（* 1）适用于质量流量控制器类型。
（* 2）从完全关闭状态到控制流量±2％FS到达时间。
（* 3）标准压力（200kPA(G)）、标准温度（20°C）情况下。
（* 4）不含渗透。 长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。
（* 5）单位随满量程流量变化。 示例：1SLM的情况时，最多可以累计到9999 9999 9.999L
（* 6）如需其他接头，请另行询问。
（* 7）接续接头会有少许变动。
使用MODEL D8500的通信系统的结构示例一台Logging PC最多可记录和操作31台设备。
（安装了通信终端电阻。
可开/关）
