| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
|---|---|---|---|
| 阀门方式 | 比例电磁阀（未通电时关闭） | ||
| 目标气体（* 1） |
多气体： N2（空气，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） |
||
| 流量范围（* 3） | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） | ||
| 控制范围 | 2至100％（F.S.） | ||
| 反应能力（* 4） | 总流量控制范围在1秒内（±2％F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | |||
| 精度（* 5） |
±1.0％SP（> 35％F。S.）， ±0.35％F。S.（≦35％F。S.） |
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| 再现性 | ±0.25％FS | ||
| 工作压差（* 6） | 50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa） | ||
| 入口压力 | 500kPa（G） | ||
| 耐压 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 7） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 |
