单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特性能
- 可用量程:
选择任意三台量程不超过1500 slpm(PCU和PCUS)或者250 slpm(PCUW)的流量计
所有流量计均配有流量累加器
- 可调比:高达1,000,000:1(3台仪表综合可调比)
- 校准精度高(NIST可溯源)(PCU标准精度):±0.4%读数+0.2%满量程
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
PCU系列便携式气体流量校准仪还有我们的Whisper系列低压损配置型号(即PCUW系列)以及可用于腐蚀性气体的316L配置型号(即PCUS系列)。
单晶炉氩气质量流量控制器美国ALICAT艾里卡特性能
选择任意三台量程不超过1500 slpm(PCU和PCUS)或者250 slpm(PCUW)的流量计
所有流量计均配有流量累加器