美国MOTT GasShield® 表面贴装过滤器 GSMM-75-010-14

产品编号：6813175
产品规格
工作条件
» 最大工作压力：1800 psig （124.1 barg）
» 惰性气体的高工作温度：460°C
» 最大压差：500 psid （34.4 bar）
材料
» 硬件：316LSS 或 Alloy 22*
» 过滤介质：五®镍、316L SS 或合金 22*
» 接液硬件表面光洁度：5 Ra
» 也可提供定制材料
*合金 22 或 UNS N06022 是一种镍-铬-钼高温合金，通常称为哈氏合金® C-22®
规格
颗粒去除粒径： ≥ 0.0015 微米
氦气泄漏等级： 1 x 10-9 大气压 cc/秒
水分贡献： 根据 SEMI F27 测试方法，在低流量环境吹扫下 1 小时后 <10 ppb
总碳氢化合物： 低于 SEMASPEC 90120396B 测试方法的可检测限值
颗粒脱落： 根据 SEMI F43-0308 测试方法，高于本底的零颗粒贡献（<1 颗粒/立方英尺）
配件和尺寸
GSMM-75 C 型密封圈，用于 1.125”
零件描述 配件类型 过滤材料 外壳材料 过滤器设计 流量等级 （SLPM） 总高度（英寸）
GSMM-75-020-12
GSMM-75-030-12
GSMM-75-050-12 C 型密封 镍 316L 不锈钢 1.125” 20-50 1.6-4.0
GSMM-75-010-11
GSMM-75-030-11 C 型密封 316L 不锈钢 316L 不锈钢 1.125” 10-30 2.4-4.0
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33 C 型密封 合金 22* 合金 22* 1.125” 10-30 2.4-4.9
GSMM-60 C 型密封圈，用于 1.500 英寸
零件描述 配件类型 过滤材料 外壳材料 过滤器设计 流量等级 （SLPM） 总高度（英寸）
GSMM-60-010-12
GSMM-60-050-12
GSMM-60-100-12 C 型密封 镍 316L 不锈钢 1.500” 10-100 1.3-4.5
GSMM-60-010-11
GSMM-60-020-11
GSMM-60-075-11 C 型密封 316L 不锈钢 316L 不锈钢 1.500” 10-75 2.2-5.8
GSMM-60-010-33
GSMM-60-020-33
GSMM-60-075-33 C 型密封 合金 22* 合金 22* 1.500” 10-75 2.4-6.1
GSMM-55 1.125“ W 型密封圈
零件描述 配件类型 过滤材料 外壳材料 过滤器设计 流量等级 （SLPM） 总高度（英寸）
GSMM-55-020-12
GSMM-55-030-12
GSMM-55-050-12 W 型密封圈 镍 316L 不锈钢 1.125” 20-50 1.7-4.2
GSMM-55-010-11
GSMM-55-030-11
GSMM-55-050-11 C 型密封 316L 不锈钢 316L 不锈钢 1.125” 10-50 2.6-4.0
GSMM-60-010-33
GSMM-60-020-33
GSMM-60-075-33 C 型密封 合金 22* 合金 22* 1.125” 10-30 2.5-5.0
GSMM-50 W 型密封圈，用于 1.500 英寸
零件描述 配件类型 过滤材料 外壳材料 过滤器设计 流量等级 （SLPM） 总高度（英寸）
GSMM-50-010-12
GSMM-50-050-12
GSMM-50-100-12 W 型密封圈 镍 316L 不锈钢 1.500” 10-100 1.3-4.5
GSMM-50-010-11
GSMM-50-020-11
GSMM-50-030-11
GSMM-50-075-11 W 型密封圈 316L 不锈钢 316L 不锈钢 1.500” 10-75 2.2-5.8
GSMM-50-010-33
GSMM-50-020-33
GSMM-50-075-33 C 型密封 合金 22* 合金 22* 1.500” 10-75 2.2-6.1
*提供定制设计和配件。