Physik Instrumente （PI）带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台
PI(Physik Instrumente)在所有重要市场中都拥有自己的销售和服务办事处。此外，公司还在三大洲设置了纳米计量测试装置。PI Shanghai和PI USA拥有额外的发展和制造资源，可实现对定制设计规格的快速当地反应。
Physik Instrumente （PI）带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台
Physik Instrumente （PI）PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供的性能、质量和使用寿命。
高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动速度，高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。
应用领域
Physik Instrumente （PI）PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用
花岗岩底座板和隔振系统
A-123.050A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，50毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期，无 铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.050B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，50毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.100A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，100毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.100B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，100毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.150A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，150毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.150B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，150毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.200A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，200毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.200B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，200毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.350A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，350毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.350B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，350毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.500A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，500毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.500B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，500毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI） A-123.750A1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，750毫米行程，增量带正弦/余弦信号传输的线性编码器，20微米传感器信号周期， 无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI） A-123.750B1 PIglideAT3线性平台，空气轴承，750毫米行程，带BiSSC信号传输的线性编码器，1纳米传感器分辨率，无铁芯三相线性电机，48伏
Physik Instrumente （PI） A-63x
200毫米或300毫米运动平台直径
薄型，60毫米
偏心和平整度<100 nm
静止时可以通过磁性预载自锁
Physik Instrumente （PI 产品总览
Physik Instrumente （PI PIglide RL系列的直接驱动式薄型旋转平台采用薄型设计，可实现的精度。
可以组合各种选项来创建理想的解决方案，以实现点对点索引或恒速扫描。
RL位移台提供的行程精度，平坦度和摆动性能。
编码器（可选）
值编码器提供明确的位置信息，可立即确定位置。 这意味着在接通过程中不需要引用，从而提高了操作期间的效率和安全性。
由花岗岩制成的底板和减少振动的系统
光学对准，晶片检查，晶片对准，测量技术，检查系统，校准，扫描。
由于无摩擦运动，不会形成任何颗粒，这使PIglide工作台非常适合无尘室应用。
Physik Instrumente （PI A-635.A100
PIglide RL旋转平台，空气轴承，200 mm运动平台直径，低高度，带正弦/余弦信号传输的角度测量系统，31488线/转，无槽，无刷三相扭矩电动机
Physik Instrumente （PI A-635.B100
PIglide RL旋转平台，空气轴承，200 mm运动平台直径，低高度，带BiSS-C信号传输的角度测量系统，传感器分辨率为0.0015μrad，无槽，无刷三相扭矩电动机
Physik Instrumente （PI A-637.A100
PIglide RL旋转平台，空气轴承，运动平台直径300 mm，低高度，带正弦/余弦信号传输的角度测量系统，47200线/转，无槽，无刷三相扭矩电动机
Physik Instrumente （PI A-637.B100
PIglide RL旋转平台，空气轴承，运动平台直径300 mm，低高度，带BiSS-C信号传输的角度测量系统，传感器分辨率为0.0015μrad，无槽，无刷三相扭矩电动机
Physik Instrumente （PIA-62x
§ 无尘室兼容
§ 运动平台直径为50毫米300毫米
§ 负载容量达4170牛
§ 偏心度和平面度< 200纳米
§ 可水平或垂直安装
Physik Instrumente （PI）产品概述
PIglide RM系列电机驱动转台设计实现高准确性、精度和刚性以及便捷使用，可在任意方向上安装。 多种选项可组合在一起创建一种非常适用于点对点分度或恒速扫描的解决方案。 RM平台提供优异的运动精度、平面度和摆动性能。由于无摩擦、无需维护或润滑，其非常适用于在无尘室中使用。
附件和可选配件
§ 编码器
§ 可选配偏摆台
§ 定制安装法兰
§ 真空接头
§ 滑环
§ PIglide过滤器和空气预处理器
§ 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器
§ 花岗岩底座板和隔振系统
Physik Instrumente （PI）应用领域
光学对准、计量、检验系统、校准、扫描
订购信息
Physik Instrumente （PI）A-621.025A1
PIglideRM转台，空气轴承，50毫米运动平台直径，25毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，81 92线/转，无槽、无刷三相力矩电机
A-621.025B1
Physik Instrumente （PI）PIglideRM转台，空气轴承，50毫米运动平台直径，25毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机
Physik Instrumente （PI）A-623.025A1
PIglideRM转台，空气轴承，100毫米运动平台直径，25毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，1 5744线/转，无槽、无刷三相力矩电机
Physik Instrumente （PI）A-623.025B1
PIglideRM转台，空气轴承，100毫米运动平台直径，25毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机
Physik Instrumente （PI）A-623.050A1
PIglideRM转台，空气轴承，100毫米运动平台直径，50毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，1 5744线/转，无槽、无刷三相力矩电机
Physik Instrumente （PI）A-623.050B1
PIglideRM转台，空气轴承，100毫米运动平台直径，50毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机
Physik Instrumente （PI）A-624.050A1
PIglideRM转台，空气轴承，150毫米运动平台直径，50毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，2 3600线/转，无槽、无刷三相力矩电机
Physik Instrumente （PI）A-624.050B1
PIglideRM转台，空气轴承，150毫米运动平台直径，50毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机
Physik Instrumente （PI）A-627.075A1
PIglideRM转台，空气轴承，300毫米运动平台直径，75毫米轴颈长度，带正弦/余弦信号传输的增量角度测量系统，4 7200线/转，无槽、无刷三相力矩电机
Physik Instrumente （PI）A-627.075B1
PIglideRM转台，空气轴承，300毫米运动平台直径，75毫米轴颈长度，带BiSSC信号传输的角度测量系统，0.0015微弧度传感器分辨率，无槽、无刷三相力矩电机
Physik Instrumente （PI）带空气轴承的PIglide RL薄型旋转平台
