产品简介
等离子刻蚀机
等离子刻蚀机
产品价格:¥10
上架日期:2011-06-02 10:02:59
产地:
发货地:广东东莞
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明
     等离子体刻蚀设备应用于刻蚀硅片边沿的硅磷层,扩散过程中,不但硅片的表面扩散上了磷,硅片边缘也扩散上了磷,这会导致硅片正反两极通过边缘导通短路。所以必须将硅片边缘这层被扩散上的硅磷去掉,大概去除1到3个微米。硅片在刻蚀机内水平旋转,通入的反应气体为四氟化碳、氧、和氮气。其原理是在放电状态下反应气体四氟化碳、氧气和硅片边缘的硅化合物发生反应生成硅,反应形成粉未和气态物质后随气流一起被抽走等。
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