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PFA吸收瓶串联洗气瓶耐酸碱低本底
PFA吸收瓶串联洗气瓶耐酸碱低本底
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上架日期:2024-04-07 14:16:16
产地:南京
发货地:南京
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详细说明

    半导体特气应用于晶圆制造的各个环节;

    狭义的“电子气体”特指电子半导体行业用的特种气体,主要应用于前端晶圆制造中的化学气相沉积、光刻、刻蚀、掺杂等诸多环节;

    电子特种气体的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性,对于半导体集成电路芯片的质量和性能具有重要意义。

    由于半导体集成电路芯片更高性能、更高集成度发展,科技对电子特气的纯度提出了越来越高的要求,电子特气的净化愈加关键和重要。

    电子气体品种多,纯化方法一般多采用吸附(常温、低温)、精馏(古间歇精馏)、催化等方法。

    现已有分析法:吸收法(鼓泡法)

    我们可以配套产品:PFA吸收瓶/PFA洗气瓶 *(各种样式尺寸均可定制加工)

     

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