| X/Y/Z轴)量测行程(mm) | 150*100*175 | 200*100*175 | 250*150*175 | 300*200*175 | 400*300*175 | 500*300*175 | |
| 外形尺寸 | 540x560x850 | 540x560x850 | 760x600x900 | 760x600x900 | 970x670x940 | 970x770x940 | |
| 机台底座材料 | 高精度花岗石 | ||||||
| 照明系统 | 表面光源与透射光源均用LED，亮度可调 | ||||||
| CCD | 高解析度日本索尼彩色CCD | ||||||
| X,Y轴量测精度 | （3+L/200）um | ||||||
| 放大倍率 | Step Zoom光学放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X | ||||||
| 光学尺解析度 | 1 um | ||||||
| 重复性 | 2 um | ||||||
| 操作方式 | 手动 | ||||||
| 电源供给 | 110V/220V | ||||||
| 合适温度，湿度 | 温度：19°--24°，湿度：45%--75% | ||||||
| 保修期 | 一年 | ||||||
