空气过滤器

本产品针对MOCVD系列外延片生产设备设计的尾气过滤器，过滤器使用的是美国HV滤纸，该产品过滤精度高，透气度大：过滤器骨架采用金属5孔冲孔网焊接，连接专用金属丝网而成，外观整齐，与骨架连接紧凑，强度大，不易脱落，耐压性能好，耐高温，环保。

主要特性：

         1、采用宽尺寸折波工艺，过滤面积比传统增大30%，纳污能力更强，更换周期更长，在CRIUS II-XL和AIX G5 HT设备上使用达到90-100炉。

         2、专用的玻纤过滤材料，空隙更均匀，透气性更好，使用压差低，有效保护MOCVD设备：

         3、具有优良的强度，阻燃，耐高温，耐腐蚀，适应过滤MOCVD尾气的苛刻环境。

应用参数：

        1、工作温度：150C°-----300C°

        2、产品规格：高度270mm,外径125mm，内径58mm

        折数：70折，折高：25mm，丁晴密封胶：90*70*5T

        3、过滤精度：25um@98%

        4、建议更换周期：30-55天（满负荷生产）