日本东丽toray半导体/液晶/电子零件等氧气计，氧气分析仪MS-500
| 氧化锆浓缩池类型 |
| 分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式） |
| 4位数字显示（密度显示） |
|
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm 自动量程 |
|
在±0.5％FS 0-1％范围内或更高 ±1％FS或± 0.1ppm中，以较大者为准小于0-1％范围0-1ppm，atm范围超出保证的浓度范围 |
| 1?9?18 |
| 10 -3至200 KPa（绝对压力） |
| 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自发扩散状态的测量） |
| 露点低于环境温度 |
| 0-100°摄氏度 |
| 请勿包含腐蚀性气体（氟气，lu气，硫化物气等），含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 |
| 大气层 |
| 仅变速箱输出 |
| RS-232C |
| 没有 |
| 6分钟以内 |
| 92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起） |
| 100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起） |
| 总长100mm（感应部分Φ11×39，主体部分Φ40×51） |
| 总长100 mm（感应部分Φ11×42，主体部分Φ40×48） |
| 总长100mm（感应部分Φ11×41，主体部分Φ40×49） |
| 约0.6Kg |
| 约0.5kg |
| 约0.2Kg |
| 约0.2Kg |
| 约0.35Kg |
| 真空法兰之一（NW16、25、40） |
| 24VDC±10％ |
