适用多气体/多量程
· 高精度：保证±1.0% S.P.(设置点)
· 高速响应：满量程1秒以内(T98) 搭载有可变 PID
· 适用于微小流量到大流量(200SLM ： SEC-Z540系列)
· 小型尺寸：适于面间距离 106mm、1.125inch(英寸)气体面板、到50SLM同一面间距离的106mm
· 超清洁类型：接气部采用全不锈钢构造，其内面进行研磨标准处理
· 和模拟MFC之间的完全互换：与数字/模拟通信相对应(SEC-Z512MG/Z522MG)
