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型 号
VI2010
VI3030
VI6040
VIB9060
VIB1210
测量范围
X
200mm
300mm
600mm
600mm
1000mm
Z
155mm
155mm
155mm
200/500mm
200/500mm
X-Y轴不确定度
U95=(2.0+L/100)um
Z轴不确定度(使用接触测头)
U95=(3.0+L/100)um
工作台面积
457 x 336mm
557 x 534mm
工件最大重量
25KG
X,Y轴驱动类型
CNC，电动，带手动摇杆，快速移动
摄像系统
CCD相机，分辨率752x582，480TVL PAL 制式
放大倍数
使用标准镜头30x－200x，使用附加0.5x及2.0x镜头 15x－400x
(17”显示器)
测量分辨率
0.5um(0.25um)
工作台分辨率
0.5um
0.5um
0.5um
0.1um
0.1um
承载重量
25Kg
工作速度
150mm/秒
