传统式吸干机只能降压由8bar到1bar，降压比为7倍。真空式吸干机则能降压到真空压力，降压比可高于7倍。由一组装置于空气出口之真空泵所提供之能量相当于加热并冷却吸附剂所产生之能量，然而却无因加热并冷却所造成功耗(相当于加热式吸干机功能的50%左右)。本系列皆配备可切换至无热式之备用系统，以便真空泵须维护时不致中断干燥气源供应。
·工作压力：≤1.0MPa(@0.7MPa)
·入口温度：≤45℃(@38℃)
·环境温度：-40~85℃
·循环周期：4min~10min
·再生气耗量：≤3%
·额定压降：≤0.021MPa
·露点温度：-40℃~-20℃
·电源：3Φ/380V/50Hz
·功耗：3.7KW(12m3/min.)~31KW(140m3/min.)
