仪器型号
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VMS-3020CNC
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VMS-3030CNC
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VMS-4030CNC
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工作台
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金属台尺寸（mm）
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408*508
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508*508
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608*508
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玻璃台尺寸（mm）
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250*350
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350*350
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450*350
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运动行程（mm）
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300*200
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300*300
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400*300
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仪器重量（kg）
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250
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300
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350
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外形尺寸（长*宽*高）（mm）
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950*750*1100
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1022*661*1037
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1022*743*1027
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传动型式
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X、Y、Z轴均采用马达驱动滚珠丝杆传动的型式
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数据测量系统
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光学尺解析度：X、Y、Z轴0.0005mm 电脑自动采样
专业软件进行资料分析处理 X、Y坐标示值误差：≤（3+L/200）um
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影像系统
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0.7~4.5X变焦镜头，总视频放大倍率为30~190X，配2X物镜时，总视频放大倍率可达380X
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照明系统
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连续可调式LED环形表面光及轮廓光，根据放大倍率确定最大光源
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X、Y轴马达运动速度<120mm/s Z轴马达运动速度<60mm/s
马达运动步长0.4mm/步 马达分辨率1000步/转
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