1.一级、二级或三级罗茨真空泵
2.前级液环真空泵
3.真空压力开关
4.止回阀
5.防反流破真空阀
6.进液电磁阀
7.气液分离罐
8.闭式循环系统(液位计、补液电磁阀、冷却器、温度表)
9.PLC电气控制柜