干泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1，低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2.半导体刻腐蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到生成腐蚀气体和研磨微粒；3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺。在这些工艺中，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排除泵外，用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；4.化学工业、医学工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
