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进口Agilent TwisTorr 304 FS涡轮分子泵性能指标：
N2：250 L/s
He：255 L/s
H2：220 L/s
Ar：250 L/s
泵 ISO 100：
泵 CFF 6 英寸：
泵 ISO 160：
泵 CFF 8 英寸：
抽速：
使用 CFF 6 英寸或 ISO 100：使用 CFF 8 英寸或 ISO 160：
N2：250 L/s
He：255 L/s
H2：220 L/s
Ar：250 L/s
全转速zui大气载（使用推荐前级泵）
环境温度 (25 °C)
水温 (25 °C，50 L/h)
N2：170 sccm
N2：170 sccm
Ar：110 sccm
Ar：110 sccm
压缩比与前级压力关系：
N2：> 1 × 1011
N2：> 10 mbar
He：> 1 × 108
H2：> 10 mbar
H2：1.5 × 106
H2：> 4 mbar
Ar：> 1 × 1011
Ar：> 10 mbar
极限真空*（使用推荐的前级泵） (5 m3/h)
< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)
抽气口法兰
8 英寸外径 CFF
2.6 英寸外径 CFF
ISO 160
ISO 100
前级管道法兰
KF 16 NW（KF25 — 可选）
转速
60000 rpm（1010 Hz 驱动频率）
启动时间
小于 3 分钟
推荐的前级泵
机械：Agilent DS 102
干泵：Agilent SH 110
工作位置
任意
操作环境温度
+5 °C 至 +35 °C
空气相对湿度
0%–90%（无冷凝）
烘烤温度
抽气口法兰zui高温度 120 °C（CFF 法兰）抽气口法兰zui高温度 80 °C（ISO 法兰）
润滑油
yognjiu性润滑
冷却要求
风扇冷却（环境温度 5–35 C）
水冷（如果环境高于 35 ℃，需强制水冷）
冷却水
zui小流速：
50 L/h (0.89 GPM)
温度：
+15 ℃ 至 +30 ℃
压力：
3 至 5 bar（45 至 75 psi）
噪声声压级
在 1 米处，< 50 dB(A)
储存温度
-40 °C 至 +70 °C
zui高海拔
3000 m
重量 kg（磅）：
5.5 (12.3)
7.5 kg (16.5)
5.7 kg (12.6)
9.7 kg (20.9)
