Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修，Edwards STPA1603C爱德华磁悬浮分子泵进气法兰口ISO200F，出气法兰口KF40，抽速可达到1600 L/s，转速为36500 rpm，极限压力10-7Pa，爱德华STPA1603C磁悬浮分子泵对应的控制器为：Edwards SCU-750。
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