爱德华EdwardsSTP 磁悬浮涡轮分子泵,对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用，Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵是优选泵。
小巧而的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 的转子进行设计。它提供极高的吞吐量、高的性和的性能，满足半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其的沉积减少系统提高了性和性能。STPA1603C 已经在新的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明，也能够满足 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要
