Leybold最早将陶瓷轴承应用于分子泵,其rotor设计充分考虑到加工的应力,转动的叶片和定子之间只有0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时,叶片端部的速度接近超音速。
Leybold TW70LS德国莱宝真空分子泵, Oerlikon TW70LS涡轮分子泵的进气法兰口DN63,抽速可达到66l/s 转速为72000rpm, Oerlikon Leybold TW70LS专门用于Leybold 氦质谱检漏仪。