概述
nEXT400D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，有ISO160和CF160两种入口法兰接口，对N2的抽速为400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术，上轴承为永久性磁悬浮轴承，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并改进转子设计，使其更加有效地实现分子拖曳行程，最终提高抽速和压缩比，同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机，内置驱动，与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W和160W两种最da预设功率可选，前者可使用100W TIC控制器，适用于抽氩气，但在该功率下达到满转速的加速时间较长。
基本的分子泵系统通常由nEXT400D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
