岛津TMP-2003LM磁悬浮分子泵,岛津TMP-2003LMC磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口ISO250-K/VG250/ICF305,出气法兰口KF40,抽速可达到2000 L/s,转速为27000 rpm,极限压力10-9 pa,岛津TMP-2003LM-3C磁悬浮分子泵保养对应的控制器为:Shimadzu EI-D2003M