安捷伦SH-110是业内的干式密封涡旋泵,可以方便地组装到原始设备制造商(OEM)系统中。这种单级泵体积小巧, 抽速110升/分(频率60Hz) ,极限压力50 mtorr (0.07 mbar) ,许多终用户应用的理想选择。
SH-110泵符合欧盟(CE)、加拿大标准协会(CSA)和Semi S2-0200的要求。
