岛津TMP-203LMC磁悬浮分子泵维修Shimadzu小抽速真空设备泵保养,日本岛津TMP-203LM/LMC/TMP-203M/MC磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C,出气法兰口KF25,抽速可达到190 L/s,转速为50000 rpm,岛津TMP-203LMC磁悬浮分子泵维修Shimadzu小抽速真空设备泵保养