Leybold 莱宝TW220/150/15涡轮分子泵维修，Oerlikon莱宝TW220/150/15是特殊专用分流的涡轮泵，Leybold TW220/150/15三入口能同时抽取三个腔体的真空，，分别抽速可达到220 L/s /150L/s /15 L/s，转速为45000rpm，对应的控制器为： Leybold TDS。
