Edwards爱德华STP-301C设备泵保养,精工精机STP-301分子泵维修，Seiko Seiki STP-301/STP-301C日本精工精机分子泵进气法兰口ICF152/VG100/ISO100，出气法兰口KF25，抽速可达到300L/s，转速为48000rpm，VG/ISO法兰口极限压力6.5x10-6Pa (5x10-8Torr)，ICF法兰口极限压力10-7Pa (10-9Torr)，精工精机STP-H301C分子泵对应的控制器为：Seiko Seiki SCU-H301C
