Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修,Edwards STPA1603C爱德华磁悬浮分子泵进气法兰口ISO200F,出气法兰口KF40,抽速可达到1600 L/s,转速为36500 rpm,极限压力10-7Pa,爱德华STPA1603C磁悬浮分子泵对应的控制器为:Edwards SCU-750