Edwards EXT75DX英国爱德华分子泵维修,Edwards EXT75DX/EXT75iDX爱德华涡轮分子泵进气法兰口DN63ISO-K/DN63CF/DN40NW/DN100ISO-K,出气法兰口DN16,抽速可达到65 L/s,转速为90000 rpm,对应的控制器为: Edwards TIC100