日本shimadzu 岛津TMP-303LMC磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C，出气法兰口KF25，抽速可达到320 L/s，转速为45000 rpm，极限压力1 x 10-10 Torr(1.3 x 10-10 mbar)，岛津TMP-303LMC磁悬浮分子泵-对应的控制器：Shimadzu EI-D303M
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