岛津TMP-2003M真空设备泵保养，Shimadzu TMP-2003LM/LMC TMP-2003M/MC分子泵抽速可达到2000L/s，转速为27000rpm，极限压力1x10-11Torr(1.3x10-11mbar)，对应的控制器为：Shimadzu EI-D2003M
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