Shimadzu TMP-803M岛津磁悬浮分子泵维修,Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC分子泵进气法兰口VG150/ICF203/ISO160B,出气法兰口KF40,抽速可达到800L/s,转速为35000rpm,极限压力1x10-11Torr(1.3x10-11 mbar),Shimadzu TMP-803LM岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为:Shimadzu EI-D1003M