Ulvac UTM-3303FHA采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。 UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承,实现了***、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型,提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺,FW系列是广域·大流量型,用于高负荷工艺和中间·硬工艺。