ULVAC UTM3400A涡轮分子泵
采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省配线，省空间。
特点
泵体和控制器一体化泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。
安装方向自由安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
产品阵容涵盖排气速度1000 L / s至4000 L / s。
广域大流量设计，适用于轻工艺泵速可以在25％至100％的范围内变化，腔室的压力可以调节。
高耐久性和安全性已经通过各种安全确认测试，例如空气冲击测试和触地测试。
用途
各种设备的主真空排气系统半导体制造设备蒸发设备溅射设备分析设备实验设备等研究开发设备
不会生成副反应物的轻工艺的主排气系统
替换设备上的有扩散泵
其他一般高真空排气用途
