Alcab ATH1600M法国阿尔卡特磁悬浮分子泵维修,Alcab ATH1600MT阿尔卡特分子泵进气法兰口DN200ISO-K/DN200CF,出气法兰口DN40 ISO-KF,抽速可达到1400 L/s,极限压力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,转速为15000-39000rpm,阿迪克森ATH1600MT磁悬浮分子泵对应的控制器为:Alcab ACT 1600M