Alcab 5011法国阿尔卡特涡轮分子泵进气法兰口DN63 ISO-K,出气法兰口DN16KF,抽速可达到7.5L/s,极限压力1x10-6 mbar,转速为27000rpm,Alcab 阿尔卡特5011CP涡轮分子泵对应的控制器为:Alcab CFV100,Alcab ACT100