Pfeiffer 普发TMH521P分子泵维修,Pfeiffer TMH521P普发涡轮分子泵进气法兰口DN 100 ISO-K/DN 100 ISO-F/DN 160 ISO-K/DN 160 ISO-F,出气法兰口 DN 25 ISO-KF,DN100ISO-K/DN 100ISO-F抽速可达到290 L/s,DN160 ISO-K/DN 160 ISO-F抽速可达到510 L/s,833HZ转速为50000 rpm,550HZ转速为33000 rpm,极限真空5X10-10 mbar,对应的控制器为:Pfeiffer TC600等