Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC 分子泵进气法兰口VG150/ICF203/ISO160B,出气法兰口KF40,抽速可达到800 L/s,转速为35000 rpm, 极限压力1 x 10-11 Torr(1.3 x 10-11 mbar),Shimadzu TMP-803LM岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为:Shimadzu EI-D1003M
