STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵此泵基于新的设计,提供功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。 STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵具有很宽的制程范围(从高真空到高流量要求),对气体都具有更高的吞吐量。