德国pfeiffer普发 TMH261涡轮泵加上TC 600控制器，形成一个完整的单元。这个系统需要空气冷却或水冷却。TMH 261采用无磨损的永磁轴承在高真空侧和油润滑的陶瓷球轴承在真空侧。TMH 261只能用于产生真空。如果过程产生灰尘，必须*定相应的维护间隔,如果用超过50%的允许气体负荷操作泵，必须使用密封气体
