Agilent Turbo-V81-M安捷伦涡轮分子泵维修，Agilent Turbo-V81-M安捷伦涡轮分子泵进气法兰口CFF4/ISO63，出气法兰口KF16，抽速可达到77 L/s ，转速为80000rpm，极限压力5X10-10 mbar (3.8X10-10 Torr)，Agilent Turbo-V81-M对应的控制器为：Agilent Turbo-V81-AG。
