LF400
SERIES
概要
LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式、模拟式、普通、高精度、高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
特点
o 模拟式热质式流量计/流量控制器：
- 环境温度补正
- 可应用的流率范围广：
- 0～5、10、20、30、50、100、200、500SCCM
- 0～1、2、3、5、10、15、20、30SLM
o 高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM.)
o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
o 国际兼容
应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。
o 气体分析设备。
o 固定气体流量控制。
o 气体混合或分离设备
标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入输出
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
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低价格，高性能 LF400 模拟式系列 热式质量流量計/流量控制器 |
(高精度型)
型号
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LF400-A |
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□ |
－ |
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－ |
□□□ |
－ |
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□ | |||
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型式 |
A |
模拟式 | |||||||||||
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D |
数字式 | ||||||||||||
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功能 |
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M |
流量计 | ||||||||||
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C |
流量控制器 | ||||||||||||
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流量范围 |
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ABC |
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气体种类 |
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013 |
N2 | ||||||||||
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008 |
Air | ||||||||||||
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015 |
O2 | ||||||||||||
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004 |
Ar | ||||||||||||
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025 |
CO2 | ||||||||||||
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001 |
He | ||||||||||||
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FFF |
其他 | ||||||||||||
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接头 |
1/4"VCR |
1 |
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1/2"VCR |
2 | ||||||||||||
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3 mm SWL |
3 | ||||||||||||
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6 mm SWL |
4 | ||||||||||||
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其他 |
F | ||||||||||||
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讯号 |
DC 0~5V |
1 |
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其他 |
2 | ||||||||||||
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电源 |
DC+/-15V |
1 | |||||||||||
流量范围是以mL/min，L/min 为单位
例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
50 L/min(nor) 表示为50L
规格 (热式) :
尺寸/定义图：
